技术特点 Features
· 单腔体设计，，，占地面积小，，操作时间短；
· 适应不同前驱体、、、、不同材料的多层复合膜层镀膜，，工艺拓展空间大；
· 精确控制薄膜厚度和均匀性，，成膜结构致密、、、高保形、、、低缺陷密度、、性能优异。。
