管式等离子体多晶硅淀积炉

  技术特点  Features  

· 隧穿氧化层
、
、
、、i-poly、
、、D-poly 三合一同管完成，，，，减少工艺环节，，
，，有效提升良率、
、降低碎片率。。。

· 无热壁特性，
，，，石英管使用寿命长。。

· 绕镀轻微
，，，易去除
。。。
。

· 精准掺杂
、、、、可引入其它提效掺杂元素
，，，，工艺拓展
、、、提效空间大。
。。

· 防导通专利技术
。。
。