光罩清洗设备

  技术特点 Features  

· 正面Force down Brush、
、、
、rinse，，，背面pellical氮气保护。
。

· PA adder, 0.3µm ≤10ea，
，适用天车料盒、、、、运输料盒。
。。
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· 100%部件本土化，，本地软件团队，，有独立的设计和专利。。。
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