光罩清洗设备

  技术特点 Features  

· 正面Force down Brush、、rinse，
，
，，背面pellical氮气保护。。
。

· PA adder, 0.3µm ≤10ea，，适用天车料盒、、、、运输料盒。。

· 100%部件本土化，，，本地软件团队，
，，有独立的设计和专利。
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