多功能薄膜沉积设备(SPE)

  技术特点 Features  

· 将真空蒸镀
、、反应式等离子镀膜
、、、、磁控溅射三大镀膜模块整合成一体
，，
，三种镀膜技术可同时独立运行，，，，实验开机率媲美三台设备
，，，，产能高。
。

· 实现蒸镀、、、、RPD、、PVD 真空连镀工艺，，，，提供多种组合镀膜
，，，，落实叠层钙钛矿层工艺一步到位
，
，，有利于膜层界面优化、
、减少装卸、、、传输损伤，，，，有利于量产设备的提效降本。。

· 采用与量产工艺统一的移动镀膜模式，，，提高未来扩产成功率、、
、、减少大尺寸量产风险。。

· 自主程序设计、、、、人性化操作界面；多层级权限设定，
，信息保密；严谨完善的安全设计
，，，防呆功能周密
；绿色环保、、
、、节能设计 。。