管式低压磷扩散炉

  技术特点  Features   

· 高方阻技术解决方案。
。

· 独特双嵌套炉门结构
，，有效解决炉口偏磷酸问题。。。。

· 独特温区设置，，，有效解决炉口炉尾方阻均匀性。。
。

· 高速平稳整体模组推舟机构。
。。

· 智能化全自动控制
。。。。

· 自主知识产权MES软件
。。
。

· 匹配S.C智能化生产管理系统。。