管式等离子体多晶硅淀积炉

  技术特点  Features  

· 隧穿氧化层、、
、i-poly
、
、、、D-poly 三合一同管完成，，，
，减少工艺环节，，，，有效提升良率、、、降低碎片率
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· 无热壁特性，，石英管使用寿命长
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· 绕镀轻微，，易去除。
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· 精准掺杂、、、、可引入其它提效掺杂元素，，
，工艺拓展、、提效空间大。。
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· 防导通专利技术。
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